PET保护膜厚度的测量

　 PET保护膜，PET离型膜在当今微电子保护膜、光学保护膜、抗氧化保护膜、巨磁电阻保护膜、高温超导保护膜等领域应用越来越广泛。工业应用中的PET聚酯保护膜，PET离型膜，其厚度是一个非常重要的参数，直接关系到该保护膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种保护膜，电路集成程度的不断提高，保护膜厚度的任何微小变化，对集成电路的性能都会产生直接的影响。除此之外，PET聚酯保护膜，PET离型膜的力学性能，透光性能，磁性能，热导率，表面结构等都与厚度有着密切的联系。

在人们对能精确测量保护膜厚度方法的迫切需求下，相应地，产生了许多测量保护膜厚度的方案。而在众多类方法当中，光学方法是被应用最广泛的方法。它相对于其它类方法具有快速、准确和不损伤保护膜等优点。综观当前众多流行的分类方式，按照测量方法所依据的光学原理进行分类最具代表性，可分为干涉、衍射、透射、反射、偏振等。